Icp意思半導體

ICP 通常指的是 "Inductively Coupled Plasma",即感應耦合電漿體。在半導體製造中,ICP 是一種常用的蝕刻技術,用於在矽晶圓上進行微觀結構的刻劃。ICP 蝕刻利用電漿體中的離子來蝕刻矽材料,從而形成所需的電路特徵。這種技術通常與其他半導體工藝步驟結合使用,如光刻和沉積,以製造集成電路。