Excimer意思

"Excimer"是一個由「excitation」和「dimer」組合而成的術語，用於描述某些類型的分子。在化學中，「dimer」指的是由兩個相同或相似分子單元組成的分子。「Excimer」則特指這樣一種分子，其中兩個分子單元通過激發（excitation）過程結合在一起，通常是通過光激發。

在光刻技術中，「excimer」雷射是一種重要的工具，它被用於半導體製造過程中的光刻步驟。這種雷射使用激發的分子或原子團作為工作物質，這些分子或原子團在激發態不穩定，很快會回到基態，釋放出光子。這種雷射通常具有非常短的波長，這對於在矽晶片上形成精細的電路圖案是非常有利的。

值得注意的是，「excimer」這個詞並不是一個常見的術語，它在不同領域可能有不同的含義，但在化學和光刻技術中，它的含義是相對明確的。