半導體mesa什麼意思

在半導體製造中，"mesa" 這個詞通常指的是一個從晶圓表面突出的平坦區域或結構。這個詞源自西班牙語，意為"小山"。在半導體製造中，mesa 可以用來描述以下幾種情況：

1. 結構上的mesa：這是指在晶圓表面上的平坦區域，它們通常是用來定義器件結構的。例如，在製造場效應管（MOSFET）時，源極和漏極之間的通道區域就可以被視為一個mesa。

2. 懸空結構上的mesa：這是指在晶圓表面上的懸空結構，它們通常是用來作為懸浮體或懸浮柵極。例如，在製造靜電儲存器（ESRAM）時，存儲單元中的懸浮柵極就可以被視為一個mesa。

3. 分離結構上的mesa：這是指在晶圓表面上的分離結構，它們通常是用來作為器件之間的隔離。例如，在製造場效應管（MOSFET）時，源極和漏極之間的氧化物隔離就可以被視為一個mesa。

在這些情況下，mesa 通常是用光刻和刻蝕技術來定義的。光刻是用來在晶圓表面上定義圖案，而刻蝕則是將不需要的材料去除，留下需要的結構。